簡要描述：ZVR 利用三點驅動和軸承設計，集成了 Z 和 θ 定位，可以精確地升高和旋轉晶圓卡盤。

薄型設計，垂直精度達 10 mm，角度行程持續為 360 度
三點式底部接口可以穩定安裝到任何 XY 平移臺或其他平臺
中心孔徑大，從而簡化了真空和電纜管理
質量輕、固有頻率高，從而可用于快速步進應用
不銹鋼循環滾珠軸承
即插即用 - ESP 兼容

特征

有效載荷設計

ZVR 通過沿著旋轉平臺外圓周的三個點（以 120 度分開）剛性地支撐和驅動有效載荷。常規設計在旋轉臺中心使用一個單個凸輪、楔塊或螺絲。具有串聯導軌和驅動機制的 Newport 的三點設計具有很多優點，非常適用于輕微到不平衡載荷應用（例如，晶片探測），可以沿著卡盤的外邊緣位置施加垂直力。因這些偏心負載造成的角變形降低到最小程度，并且在垂直運動期間也不存在彎曲現象。

COMPATIBLE CONTROLLERS

Compatible motion controllers for ZVR-PC are:

·XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

·XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

·ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.

·SMC100 Motion Controller: SMC100CC  for ?-axis and SMC100PP * for Z-axis.

* Minimum Incremental Motion for Z-axis is 0.25 µm with SMC100PP controller.